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期刊文章 基于频闪干涉的微结构三维运动测量方法
出处:测控技术 2008年第6期 5-8,共4页
摘要:微机电系统中微结构特征尺寸在微米亚微米,且谐振频率可达兆赫,对其进行动态测量困难。介绍了一种基于频... 显示全部
关键词: 微结构 频闪照明 显微相移干涉 相位去包裹
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