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期刊文章 基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器
出处:深圳大学学报:理工版 2011年第1期 17-22,共6页
摘要:研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力... 显示全部
关键词: 传感器技术 光纤光学 压力测量 微机电系统 干涉 方形硅膜 强度调制
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