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期刊文章 多晶硅薄膜晶化率对暗电导率的影响
出处:韩山师范学院学报 2004年第3期 61-64,共4页
摘要:采用氢等离子体加热的方法晶化a-Si:H薄膜制备多晶硅薄膜.用Raman散射谱进行结构表征和分析,研究了薄膜晶化... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜 晶化率 暗电导率 散射谱 半导体器件
期刊文章 Hzsm—5和Y沸石中Se链的吸收和喇曼光谱
出处:半导体学报 1996年第12期 936-939,共4页
摘要:本文用扩散的方法,在HZSM-5和Y沸石中制备了具有不同Se组分的Se链样品,并对样品进行了吸收和... 显示全部
关键词: 散射谱 沸石
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期刊文章 退火Co/C软X射线多层膜中碳的TEM和Raman散射研究
出处:中国科学:A辑 1996年第12期1131-1137,共7页
摘要:用透射电子显微镜(TEM)和Raman散射(RS)研究了对向靶溅射法制备的Co/C软X射线多层膜在... 显示全部
关键词: 薄膜 射线 多层膜 退火 石墨化 散射谱
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