聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 掺杂钨类金刚石膜的显微结构与性能
出处:机械工程材料 2009年第9期79-84,共6页
摘要:利用非平衡磁控溅射与离子源复合沉积技术,以高纯甲烷和氮气作反应气体,钨为溅射靶,在40Cr、Si(100)基... 显示全部
关键词: 非平衡磁控溅射 掺杂钨 类金刚石膜 摩擦因数
在线阅读 下载全文
找到1条结果
`