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期刊文章 机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究
出处:仪器仪表学报 2007年第7期 1223-1228,共6页
摘要:对基于AFM的机器人化纳米操作系统而言,一个关键问题是如何实现纳米操作时探针的高精度驱动与定位。对此,... 显示全部
关键词: 驱动器驱动 探针定位 复现扫描轨迹 运动学耦合误差 悬臂变形
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期刊文章 基于AFM的机器人化纳米操作系统综述
出处:机械工程学报 2009年第6期 14-23,共10页
摘要:对基于扫描隧道显微镜(Scanning tunnel microscope,STM)及原子力显微镜(Atomicforcemicroscope,AFM)的... 显示全部
关键词: 纳米操作 原子力显微镜 机器人化 探针定位 信息反馈
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期刊文章 机器人化微纳操作研究进展
出处:科学通报 2013年第S2期28-39,共12页
摘要: 微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述... 显示全部
关键词: 纳米操作 原子力显微镜 探针定位 虚拟夹具
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