作　　者： ; ; ; ; ; ; ;

机构地区： 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室

出　　处： 《科学通报》 2013年第S2期28-39,共12页

摘　　要： 微纳操作技术是在微/纳米尺度上制造具有特定功能结构与器件的方法,该技术获得广泛的关注和研究.本文阐述了微纳操作的概念、意义,介绍微纳操作的相关技术,以基于原子力显微镜(AFM)的机器人化微纳操作技术为重点,回顾AFM微纳操作的发展历程,探讨AFM探针定位与操作等关键技术问题,并提出相应的解决方案,最后对当前微纳操作中关注的几个关键技术问题进行了展望. Micro/nano-nanomanipulation technology is fabricating particular constructs and devices at micro/nano-scale, and has attracted wide attention and research. The paper represents the conception and significance of nano-manipuations, introduces the relevant technologies, reviews the research progress of atomic force microscopy(AFM) based nano-manipulation by focusing on the robotics based micro/nano-manipulation, discusses the critical techniques such as AFM based tip positioning and nanomanipulation, then proposes corresponding solutions, and finally prospects several concerned key techniques.

关 键 词： 纳米操作 原子力显微镜 探针定位 虚拟夹具

领　　域： [自动化与计算机技术] [自动化与计算机技术]