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期刊文章 机械法抛光加工金刚石膜研究
出处:超硬材料工程 2007年第1期 5-9,共5页
摘要:在平面研磨机上使用金刚石抛光盘对金刚石膜进行了抛光实验。通过观察金刚石膜机械抛光过程中表面形貌的变... 显示全部
关键词: 金刚石膜 抛光加工 机械法 表面粗糙度
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