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期刊文章 红外30μm亚波长抗反射光栅的制作
出处:红外与毫米波学报 2004年第1期 6-10,共5页
摘要:利用严格耦合波理论设计出亚波长抗反射光栅,并通过等离子体辅助刻蚀制作出了立方状抗反抗光栅.测量结果发... 显示全部
关键词: 亚波长 抗反射光栅 严格耦合波理论 红外技术 等离子体辅助刻蚀 光栅参数 衍射光学元件
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