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期刊文章 多弧离子镀膜机Bulat—6的技术特性
出处:金属热处理 2000年第11期 41-42,共2页
摘要:利用多弧离子镀技术制备的TiN等各种硬质膜已经广泛应用于各种工模具表面强化[1 ] 。硬质膜质量的提高主... 显示全部
关键词: 多弧离子镀膜机 技术特性 弧源靶 弧光放电
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