可检索词： （英文）题名=T 作者=A 关键词=K 摘要=R 机构=O 主题=S 刊名=M 分类号=N
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机构地区： 广东工业大学材料与能源学院
出 处： 《金属热处理》 2000年第11期41-42,共2页
关 键 词： 多弧离子镀膜机 技术特性 弧源靶 弧光放电
领 域： [金属学及工艺] [金属学及工艺]
