聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 真空电弧沉积多元膜复合靶成分离析效应的研究
出处:真空科学与技术 2000年第5期 373-376,共4页
摘要:用Ti/Mo,Ti/W和Ti/Me(Me为Fe-Cr-Al合金)复合靶采用真空电弧技术沉积了多元膜... 显示全部
关键词: 真空电弧沉积 多元膜 成分离析效应 复合靶
在线阅读 下载全文
找到1条结果
`