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期刊文章 对向靶溅射参数对CoCr膜性质的影响及CoCr软盘的研究
出处:信息记录材料 1989年第2期27-30,63共5页
摘要: 本文系统地研究了对向靶溅射参数P_Ar、I_s、T_s、V_b对CoCr膜结构和磁性的影响。结果发现较低的P_Ar和适... 显示全部
关键词: 溅射法 原子数 取向度 垂直磁记录 负偏压 膜结构 磁控溅射 性能测试结果 饱和磁化强度
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