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期刊文章 基于快速成形的MEMS微制造技术
出处:中国机械工程 2002年第20期 1721-1723,共3页
摘要:评述了当前主要的MEMS微制造技术方法及特点,综述了基于快速成形的MEMS微制造系统的基本原理和基本结构,目... 显示全部
关键词: 快速成形 微制造 微机电系统 微细立体光刻
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