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期刊文章 微细电火花加工机床开放式数控系统开发及应用
出处:哈尔滨工程大学学报 2015年第9期1234-1239,共6页
摘要:为了实现我国具有微细阵列孔结构的工业级精密微喷关键部件的自主开发,围绕微细电火花加工的关键技术,在研... 显示全部
关键词: 微细电火花 微细阵列孔 开放式数控系统
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期刊文章 硅阵列通孔微细电火花加工试验研究
出处:电加工与模具 2009年第6期 9-13,共5页
摘要:硅通孔技术是MEMS封装和垂直集成传感器阵列实现电气互联的重要途径之一,采用微细电火花的方法可实现硅通... 显示全部
关键词: 阵列电极 微细电火花 单脉冲电源 硅通孔
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