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期刊文章 连续流动式PCR芯片相关技术研究进展
出处:分析测试学报 2004年第6期 114-118,123,共6页
摘要:微电子机械系统(microeletromechanical system,MEMS)技术的兴起及其在生物化学领域的广泛应用,推动了聚合... 显示全部
关键词: 连续流动式 芯片技术 微电子机械系统技术 基底材料选择 表面钝化 微细加工 封接技术
期刊文章 不同材料的准分子激光微细加工机制
出处:机械科学与技术 2005年第1期 62-65,共4页
摘要:采用准分子激光加工方法,在相同的工艺参数下加工了Al2O3陶瓷、不锈钢、Q235等脆性和塑性材料.通过扫描电子... 显示全部
关键词: 准分子激光 微细加工 加工机制 表面形貌
期刊文章 MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
出处:传感器与微系统 2011年第5期 1-4,7,共5页
摘要:概述了永磁材料在微机电系统(MEMS)中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射... 显示全部
关键词: 微机电系统 永磁材料 永磁薄膜 微细加工
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期刊文章 微流体芯片计算机数控热压机设计
出处:组合机床与自动化加工技术 2004年第1期 40-41,共2页
摘要:微流体分析芯片是通过微细加工技术将微管道、微泵、微阀、微储液器、微电极、微检测元件、窗口和连接器等... 显示全部
关键词: 微流体分析芯片 微细加工 数控热压机 设计 计算机数字控制 微型全分析系统
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期刊文章 基于体硅工艺的静电致动微夹持器制作工艺分析
出处:光学精密工程 2003年第2期 109-113,共5页
摘要:介绍了一种基于体硅工艺的大尺寸、大深宽比梳状静电致动微夹持器的制作工艺.对微夹持器制作中的关键工艺进... 显示全部
关键词: 体硅工艺 静电致动微夹持器 电感耦合等离子体 蚀刻 制作工艺 微细加工
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