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期刊文章 MEMS与磁传感器
出处:测试技术学报 2004年第z3期 26-28,共3页
摘要:微电子机械系统(MEMS)是21世纪一项革命性的新技术.其加工工艺是在硅微电子基础上发展起来的,本文介绍了MEM... 显示全部
关键词: 微磁通门 微磁阻传感器
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