可检索词： （英文）题名=T 作者=A 关键词=K 摘要=R 机构=O 主题=S 刊名=M 分类号=N
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机构地区： 华北工学院电子科学与技术系
出 处： 《测试技术学报》 2004年第z3期26-28,共3页
摘 要： 微电子机械系统(MEMS)是21世纪一项革命性的新技术.其加工工艺是在硅微电子基础上发展起来的,本文介绍了MEMS的发展及两种微型磁传感器,微磁通门传感器和微磁阻传感器,简要阐述了它们的基本结构和敏感机理,从中可以看出微传感器已成为传感技术中有重要应用前景的组成部分.
关 键 词： 微磁通门 微磁阻传感器
领 域： [机械工程] [一般工业技术]
