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期刊文章 微流体控制系统研究及其应用前景
出处:流体机械 2006年第12期 41-46,共6页
摘要:微流体控制系统是随着微机电系统的发展而迅速发展起来的研究领域。详细介绍了微流体控制系统的组成及其各... 显示全部
关键词: 微流体控制系统 微型全分析系统 微型泵 微型阀 微机电系统
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期刊文章 微小型高压力流体电磁控制阀
出处:微纳电子技术 2003年第7期 452-455,460,共5页
摘要:用于航空航天领域微流量控制系统中的微小型阀,需要具有耐高压、低泄漏、高频响和高控制精度等综合性能.本... 显示全部
关键词: 电磁控制阀 微小型阀 微流体控制系统 工作性能 流体压力
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期刊文章 基于硅结构的微混合器研究进展与应用
出处:材料导报 2004年第3期 67-69,共3页
摘要:阐述了微混合器的一般概念,从不同角度对微混合器进行分类,综述了微混合器的国内外研究现状,从尺度效应、表... 显示全部
关键词: 微混合器 尺度效应 表面效应 微机电系统 硅结构 微流体控制系统
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