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期刊文章 高能量密度微电磁驱动器的制作方法
出处:半导体学报 2008年第6期 1111-1116,共6页
摘要:提出了一种非闭合磁路型高能量密度微电磁驱动器的制作方法,即利用MEMS工艺在单位面积硅基体上制作多匝、高... 显示全部
关键词: 微型电磁驱动器 高能量密度 多匝双层平面微线圈 合金镀层
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期刊文章 基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器
出处:光学精密工程 2007年第6期 866-872,共7页
摘要:提出了制作高能量密度电磁驱动器的工艺方法。利用微机械(MEMS)工艺在硅片上得到多匝平面线圈和磁芯的掩... 显示全部
关键词: 微型电磁驱动器 高能量密度 多匝双层平面微线圈 合金镀层
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