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期刊文章 集成电路互连引线电迁移的研究进展
出处:半导体技术 2004年第9期 15-21,38,共8页
摘要:随着大规模集成电路的不断发展,电迁移引起的集成电路可靠性问题日益凸现.本文介绍了电迁移的基本理论,综述... 显示全部
关键词: 大规模集成电路 互连引线 电迁移 可靠性 电流密度 应力梯度
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