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期刊文章 无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究
出处:四川大学学报:自然科学版 2009年第5期 1423-1428,共6页
摘要:多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程... 显示全部
关键词: 多束 干涉光刻 模拟软件 混合编程
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期刊文章 基于数字微镜器件亚微米制备技术研究
出处:光子学报 2010年第4期 600-604,共5页
摘要:为了实时、便捷的改变光刻图案以用于微纳光子器件制备,使用数字微镜器件构建了一套无掩模亚微米尺度制备... 显示全部
关键词: 干涉光刻 傅里叶光学 微纳光子器件 阿贝成像原理 数字微镜器件
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