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期刊文章 微小差分电容检测电路设计
出处:传感技术学报 2006年第6期 2529-2531,共3页
摘要:针对电容式MEMS器件,设计了一种用来检测微小差分电容的电路,该电路主要有方波信号发生器、相敏解调和低... 显示全部
关键词: 差分电容 充放电 相敏解调
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