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期刊文章 射频辉光放电硅烷等离子体的光发射谱研究
出处:光电子.激光 2003年第4期 375-379,共5页
摘要:通过对RF-PECVD技术沉积氢化非晶/微晶硅(a-Si:H/μc-Si:H)薄膜沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体的光发射谱(OE... 显示全部
关键词: 氢化非晶 微晶硅 射频辉光放电 硅烷等离子体 光发射谱
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期刊文章 SiCl4等离子体中的中性基团质谱测量
出处:核聚变与等离子体物理 2006年第3期 252-256,共5页
摘要:设计了一个取样位置能在射频辉光放电等离子体电极间自由移动的取样装置,用质谱计测量了SiCl4等离子体的离... 显示全部
关键词: 射频辉光放电 中性基团 质谱测量 可移动取样装置
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