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期刊文章 常温低氮氩比下(002)择优取向氮化铝薄膜的制备
出处:四川大学学报:自然科学版 2011年第6期 1386-1390,共5页
摘要:常温下采用反应射频磁控溅射方法在玻璃基底上制备出(002)单一择优取向柱状结构的氮化铝薄膜,通过XRD分... 显示全部
关键词: 薄膜 射频反应磁控溅射 择优取向 沉积速率
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