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期刊文章 大面积循环扫描投影光刻对准系统设计和分析
出处:半导体光电 2009年第3期455-459,共5页
摘要:设计了大面积循环扫描投影光刻的高精度对准系统,由CCD传感器、图像识别软件和共焦显微镜组成的光学测量系... 显示全部
关键词: 投影光刻 对准 激光共焦扫描显微镜 相关双采样
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期刊文章 大面积激光投影成像曝光技术
出处:装备制造技术 2009年第5期 38-40,共3页
摘要:介绍了大面积激光投影成像曝光系统的构成和工作过程,阐述了其中的关键核心技术如激光照明光学技术、折叠... 显示全部
关键词: 激光投影成像曝光 准分子激光器 大面积激光扫描 对准 无缝误差
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期刊文章 极坐标激光直写系统光轴和转轴对准的光栅反射对准法
出处:光学仪器 2004年第1期 15-18,共4页
摘要:提出一种光栅反射对准法:在极坐标激光直写系统中利用光栅反射聚焦光斑来校准光轴和工件台的转动轴;被光栅... 显示全部
关键词: 光栅反射对准法 极坐标激光直写系统 光轴 工件台 对准 转轴
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