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期刊文章 采用准分子激光退火的室温沉积ITiO薄膜的性能研究
出处:功能材料 2013年第21期3146-3148,共3页
摘要:采用室温磁控溅射的方法在玻璃衬底上沉积掺Ti氧化铟薄膜,并在真空中采用XeCl准分子激光进行退火,样品的... 显示全部
关键词: 氧化铟 室温沉积 激光退火
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