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期刊文章 精密宏微复合绝对式光栅尺设计与研究
出处:应用光学 2015年第2期287-293,共7页
摘要: 通过对光栅尺原理的研究,设计一种宏微复合切换测量模式,利用增量码进行低精度测量,绝对码进行高精度测量... 显示全部
关键词: 绝对光栅尺 宏微复合 速度切换 精密
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