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期刊文章 直流磁控溅射制备太阳光谱选择性吸收TiN薄膜
出处:太阳能学报 2010年第9期1146-1149,共4页
摘要:以直流反应磁控溅射方法作为制备手段,选择Ti为靶材,以氩气作为工作气体、氮气为反应气体,在Si(111)基底... 显示全部
关键词: 太阳光谱选择性吸收薄膜 磁控溅射 氮化钛 吸收率 反射率
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