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期刊文章 无掩模多束SPPs干涉光刻成像仿真软件研究
出处:四川大学学报:自然科学版 2009年第5期 1423-1428,共6页
摘要:多束SPPs干涉光刻是一种可制作纳米尺度光子晶体器件的新型微加工方法,目前尚未见对多束SPPs干涉光刻过程... 显示全部
关键词: 多束 干涉光刻 模拟软件 混合编程
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期刊文章 表面等离激元体干涉制备纳米光子晶体的模拟分析
出处:光学学报 2009年第4期1075-1078,共4页
摘要:利用表面等离激元短波长和近场增强效应的特性.用多束P偏振态相干光激发表面等离激元(SPPs),并优化干涉... 显示全部
关键词: 光子晶体 表面等离激元 多束 干涉 纳米光子晶体
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