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期刊文章 MIC多晶硅薄膜的光学与电学特性及其优化
出处:光电子.激光 2008年第10期 1353-1356,共4页
摘要:制备了4种P型掺杂的多晶硅薄膜;固相晶化(SPC)、金属诱导(MIC)、准分子激光晶化(ELA)和低压化学气象... 显示全部
关键词: 多晶硅薄膜电极 光学特性 电学特性 有机电致发光器件
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