聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 Si基片各向异性腐蚀特性研究
出处:华中科技大学学报:自然科学版 2003年第10期 22-25,共4页
摘要:为了制备高性能铁电薄膜红外探测器,对Si微桥的湿化学腐蚀工艺进行了研究.利用Si基片各向异性腐蚀特性,在四... 显示全部
关键词: 基片各向异性 腐蚀特性 腐蚀液
在线阅读 下载全文
找到1条结果
`