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期刊文章 铝诱导非晶硅场致晶化检测方法的比较
出处:韩山师范学院学报 2006年第6期 38-42,共5页
摘要:非晶硅晶化的检测仪器有很多,主要有扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪.采用上述检测仪器检测铝诱导... 显示全部
关键词: 铝诱导 非晶硅 场致晶化
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