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期刊文章 真空微电子压力传感器的研制
出处:光学精密工程 2004年第6期 603-607,共5页
摘要:提出了一种带过载保护功能的真空微电子压力传感器.对传感器的压力敏感膜尺寸、阴阳极间距等结构参数进行了... 显示全部
关键词: 压力传感器 过载保护 场致发射阴极锥尖阵列 各向异性腐蚀
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