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期刊文章 溅射过程中粒子能量对钛薄膜表面形貌影响
出处:光学学报 2004年第11期1450-1454,共5页
摘要:借助于原子力显微镜研究了离子束溅射沉积工艺中入射离子能量对制备的Ti薄膜表面形貌的影响。对薄膜表面高... 显示全部
关键词: 钛薄膜 粒子 离子能量 表面形貌 相关长度 离子束溅射 分形维数 相关函数 参量 沉积工艺
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