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期刊文章 Si过渡层对梯度影响类金刚石薄膜结合力的影响研究
出处:功能材料 2005年第10期 1561-1563,1567,共4页
摘要:实验利用双放电腔微波-ECR等离子体源设备,采用复合PVD(physical vapor deposition)和PECVD(plasma enhance... 显示全部
关键词: 合金 类金刚石薄膜 过渡层 结合强度 划痕法
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