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期刊文章 椭圆偏振光谱数据处理的分段多项式法
出处:中山大学学报:自然科学版 1998年第6期 35-39,共5页
摘要:采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据,可以同时得到样品的厚度和光学常数谱。2个计算实例... 显示全部
关键词: 椭圆偏振光谱 数据处理 分段多项法 铁电薄膜
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