聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 不同材料的准分子激光微细加工机制
出处:机械科学与技术 2005年第1期 62-65,共4页
摘要:采用准分子激光加工方法,在相同的工艺参数下加工了Al2O3陶瓷、不锈钢、Q235等脆性和塑性材料.通过扫描电子... 显示全部
关键词: 准分子激光 微细加工 加工机制 表面形貌
期刊文章 水辅助准分子激光微加工硅的实验研究
出处:激光技术 2006年第6期 567-569,共3页
摘要:为了研究脉冲激光在不同介质中的刻蚀特性,采用20ns短脉冲、248nm准分子激光(能量为150mJ-250mJ)分别在... 显示全部
关键词: 激光技术 水辅助微加工 准分子激光 刻蚀
在线阅读 下载全文
期刊文章 准分子激光电化学刻蚀镍的特性研究
出处:光学技术 2005年第3期323-325,329共4页
摘要:提出一种新的准分子激光电化学加工工艺,在阳极钝化区内,通过准分子激光照射,以实现无屏蔽的各向异性的微加... 显示全部
关键词: 准分子激光 电化学 阳极钝化 刻蚀
期刊文章 电解液对准分子电化学刻蚀硅的影响研究
出处:应用激光 2009年第1期 43-45,49,共4页
摘要:提要激光电化学刻蚀是将激光加工技术和电化学加工技术有机结合起来而形成的一种复合型刻蚀工艺。为了研究... 显示全部
关键词: 准分子激光 电化学 刻蚀 溶液
在线阅读 下载全文
期刊文章 准分子激光引起的非晶硅薄膜晶化行为的研究
出处:真空 2009年第4期5-8,共4页
摘要:利用KrF准分子激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化。研究了激光能量密度和照射脉冲数对薄膜结晶度的影响,并... 显示全部
关键词: 准分子激光 非晶硅薄膜 激光能量密度 结晶度
在线阅读 下载全文
期刊文章 印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析
出处:量子电子学报 2009年第3期 360-365,共6页
摘要:针对351nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(P... 显示全部
关键词: 激光技术 均束器 激光投影成像光刻 准分子激光 印刷电路板 加工窗
在线阅读 下载全文
期刊文章 准分子激光直刻横向影响区实验研究
出处:激光技术 2005年第2期 132-134,共3页
摘要:采用248nm KrF准分子激光直接刻蚀金属和半导体,在加工后的试件表面上观察到了横向影响区.将其定义为两个部... 显示全部
关键词: 准分子激光 直刻 横向影响区 脉冲激光参数
期刊文章 准分子激光均束器及其研究进展
出处:中国科技博览 2009年第7期 66-67,共2页
摘要:以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准... 显示全部
关键词: 准分子激光 均束器 光刻 加工窗
在线阅读 下载全文
期刊文章 LIGA工艺中微电铸工艺研究
出处:激光技术 2006年第1期 47-49,共3页
摘要:为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微孔结构,并以此和光... 显示全部
关键词: 微电铸 准分子激光
在线阅读 下载全文
期刊文章 ArF准分子激光晶化非晶硅薄膜微结构研究
出处:世界科技研究与发展 2010年第4期417-419,426共4页
摘要:利用ArF准分子激光对非晶硅薄膜的表层进行晶化后,采用拉曼光谱(Raman)、透射电镜(TEM)、场发射扫描电... 显示全部
关键词: 准分子激光 激光能量 结晶度
在线阅读 下载全文
找到13条结果
`