聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 Ta2O5薄膜的结构和电学性能研究
出处:功能材料 2007年第A02期 642-644,共3页
摘要:采用紫外光诱导热丝CVD沉积技术制备Ta2O5薄膜和Al/Ta2O2/SiMOS电容。利用XRD,AFM测试分析方法研究了紫外... 显示全部
关键词: 光诱导热丝 薄膜 电学性能
在线阅读 下载全文
找到1条结果
`