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期刊文章 气垫导轨上空气膜厚度的测定
出处:重庆工商大学学报:自然科学版 2008年第1期 65-67,共3页
摘要:针对气垫导轨装置的重要参数——气垫厚度进行测定分析,利用光杠杆系统测量微小长度变化的方法,测量滑块... 显示全部
关键词: 气垫导轨 光杠杆测量系统 空气膜 厚度 测量误差
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