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期刊文章 纯相位匹配滤波模式识别在光刻对位系统中的应用
出处:光电工程 2012年第10期54-58,共5页
摘要:针对光刻对准系统的微纳级对位精度,本文提出一种在图像相关识别的理论分析基础上,利用纯相位匹配滤波算法... 显示全部
关键词: 光刻 套刻对位 模式识别 纯相位匹配滤波器
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期刊文章 投影光刻系统中的掩模硅片相关识别对准技术
出处:量子电子学报 2012年第6期764-768,共5页
摘要:分析图像相关识别中的纯相位匹配滤波器的模式识别方法,利用该滤波器的相关识别位图计算算法,及其所具有... 显示全部
关键词: 激光技术 光刻 套刻技术 模式识别 纯相位匹配滤波器
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期刊文章 基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计
出处:光学技术 2009年第4期615-617,621共4页
摘要:351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投... 显示全部
关键词: 准分子激光器 均束器 光波导管 光刻 无缝扫描 光学设计
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期刊文章 用于光刻的准分子激光束整形及其研究进展
出处:量子电子学报 2007年第4期 415-419,共5页
摘要:阐述了在光刻应用中准分子激光束整形的原因和整形前后光束能量空间分布结果,并对建立准分子激光束整形的... 显示全部
关键词: 激光技术 准分子激光束整形 光刻 微透镜阵列 衍射相位光栅
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期刊文章 准分子激光均束器及其研究进展
出处:中国科技博览 2009年第7期 66-67,共2页
摘要:以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准... 显示全部
关键词: 准分子激光 均束器 光刻 加工窗
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期刊文章 21世纪深亚微米芯片技术的新进展
出处:华南理工大学学报:自然科学版 2002年第11期 81-84,共4页
摘要:着重介绍对微电子技术发展有重大意义的集成电路关键技术的进展情况.MOSFET结构的探索创新、高K和低K绝缘材... 显示全部
关键词: 世纪 深亚微米芯片技术 微电子技术 集成电路 光刻 系统级芯片 图形转移 布线工艺
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期刊文章 激光光刻大面积扫描投影成像光学系统测试及评价
出处:激光与光电子学进展 2012年第7期152-155,共4页
摘要:基于351nm XeF激光大面积投影成像光刻系统,通过对其光学系统包括光学照明系统和折叠投影系统进行光学性能... 显示全部
关键词: 成像系统 准分子激光 光刻 紫外激光投影成像 光束均匀性 平顶因子
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期刊文章 亚10μm线宽的投影光刻物镜设计及其成像性能的实验测定
出处:应用光学 2014年第2期311-315,共5页
摘要:采用Zemax软件设计出6镜片、数值孔径为0.06、2倍缩小、以405nm半导体激光器为光源、分辨精度达5μm、视场1... 显示全部
关键词: 光刻 投影物镜 光学传递函数
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期刊文章 新型大面积PCB光刻投影物镜设计
出处:光电工程 2013年第2期100-104,共5页
摘要:针对大面积且高密度PCB光刻,利用ZEMAX光学设计软件,设计了一种8片式光刻投影物镜。该物镜采用对称双高斯... 显示全部
关键词: 光刻 投影物镜 印制电路板 光学设计
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期刊文章 单模共振干涉光刻曝光显影模拟研究
出处:光学学报 2013年第5期9-14,共6页
摘要:针对纳米光栅的加工需求,提出一种以柱形光栅耦合结构为基础的单模共振干涉光刻方法。该方法以柱形光栅耦... 显示全部
关键词: 光栅 介质波导 单模共振干涉 光刻
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