聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 IC晶片关键尺寸标定的新方法研究
出处:半导体技术 2005年第12期 35-37,43,共4页
摘要:提出了一种基于标准件法的二次标定法,实现了对微距尺寸的高速高精度测量.该方法经过实验测量数据的分析对... 显示全部
关键词: 标准件 像素当量 空间矩 亚像素 尺寸标定
在线阅读 下载全文
期刊文章 有图形硅片显微图像微距线宽测量方法研究
出处:仪器仪表学报 2006年第9期 1138-1140,共3页
摘要:针对硅片关键尺寸高精度准确测量的要求,在整像素级标准件法二维图像微距尺寸测量的基础上,本文综合应用... 显示全部
关键词: 硅片 标准件 像素当量 空间矩 亚像素 标定
在线阅读 下载全文
找到2条结果
`