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期刊文章 二氧化硅薄膜材料热传导尺寸效应的实验研究
出处:传感器技术 2003年第5期 13-14,共2页
摘要:对微米SiO2薄膜材料沿膜面方向热传导尺寸效应进行了实验研究.结果表明,膜厚从微米数量级的尺寸开始,其传热... 显示全部
关键词: 二氧化硅 薄膜材料 热传导 尺寸效应 微米尺寸 介质薄膜
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期刊文章 PECVD SiC薄膜的AES研究
出处:真空科学与技术学报 1989年第3期189-192,共4页
摘要: 本文介绍用俄歇电子能谱对等离子增强化学气相淀积非晶碳化硅薄膜进行组分的定量分析、深度剖析和元素的化... 显示全部
关键词: 硅薄膜 化学气相淀积 非晶碳 化学状态 衬底温度 光学带隙 介质薄膜 俄歇电子
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