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期刊文章 集成电路互连线电迁移测试方法与评价
出处:微电子学 2004年第5期 489-492,共4页
摘要:介绍了研究集成电路互连线电迁移的两种方法:加速寿命试验和移动速度试验.对加速寿命试验进行了分析和评价.... 显示全部
关键词: 集成电路 互连线 电迁移 加速寿命试验 移动速度试验
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