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期刊文章 超精密二维工作台自标定技术研究
出处:中国机械工程 2005年第20期 1787-1790,共4页
摘要:基于刚性运动方程和非线性最优化方法提出了一种超精密二维工作台自标定模型,研究了随机测量误差在自标定过... 显示全部
关键词: 超精密 二维工作台 自标定 测量不确定度分析
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