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期刊文章 醇硅比对太阳能玻璃用多孔SiO_2减反膜性能的影响
出处:材料科学与工程学报 2012年第1期 9-13,共5页
摘要:采用溶胶-凝胶工艺在碱催化条件下制备了多孔结构的纳米SiO2薄膜,研究了不同醇硅比对溶胶体系的粒度分布、... 显示全部
关键词: 溶胶 凝胶 二氧化硅薄膜 减反膜 太阳能玻璃 醇硅比
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期刊文章 外置式电感耦合化学气相沉积法低温制备SiO2薄膜
出处:材料科学与工程学报 2013年第1期84-87,83共5页
摘要:设计了一种外置式电感耦合等离子增强化学气相沉积装置,并利用该装置在n型硅片上低温沉积了SiO2薄膜。通过... 显示全部
关键词: 二氧化硅薄膜 电感耦合 等离子增强化学气相沉积
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