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会议论文 离子束溅射制备Sb2Te3热电薄膜
出处:TFC’09全国薄膜技术学术研讨会
摘要:<正>本文采用离子束溅射技术交替沉积Sb-Te-Sb多层薄膜后进行高真空热处理,直接制备Sb2Te3薄膜。利用X射线... 显示全部
会议论文 光学薄膜厚度的实时监控算法研究
出处:中国真空学会2006年学术会议
摘要:<正>薄膜厚度监控的准确度直接影响光学薄膜的反射率、透射率、光谱特性和偏振特性,因此,光学薄膜的准确控... 显示全部
会议论文 纳米TiO<,2>薄膜的表面处理与光催化活性
出处:首届国际华厦无机固体化学和合成化学研讨会暨第七届全国无机固体化学和合成化学学术讨论会
摘要:通过Sol-gel工艺在钠钙玻璃表面制备了均匀透明的锐钛矿型TiO<,2>纳米光催化薄膜。然后将制备的TiO<,2>薄膜... 显示全部
关键词: 溶胶 凝胶工艺 二氧化钛纳米薄膜 表面处理 光催化活性
会议论文 原子层沉积技术及应用发展概况
出处:全国薄膜技术学术研讨会
摘要:首先回顾了原子层沉积(ALD)发展历史,介绍了ALD的基本工艺和ALD薄膜具有的优良特性,并与传统的薄膜制备工艺... 显示全部
关键词: 原子层沉积 自限制 化学气相沉积 物理气相沉积
会议论文 基于ARM实时光学薄膜厚度监控的研究
出处:TFC’05全国薄膜技术学术研讨会
摘要:<正> 目前国内生产的光学镀膜机,其光学膜的厚度多数采用光电极值法。这种极值法控制单元使用数码管显示,即... 显示全部
会议论文 激光器高反膜镀制工艺研究的新进展
出处:TFC’07全国薄膜技术学术研讨会
摘要:<正>光学薄膜是激光系统的重要组成部分。应用于高功率激光器谐振腔中的反射镜,其反射率的有限值阻碍了激光... 显示全部
会议论文 磺化聚醚醚酮/蒙脱土复合质子交换膜的制备及性能
出处:2004年中国材料研讨会
摘要:用十六烷基三甲基氯化铵为有机插层剂制备了改性的蒙脱土,采用溶液插层法制备出了剥离型磺化聚醚醚酮/蒙脱... 显示全部
关键词: 质子交换膜 磺化聚醚醚酮 蒙脱土 溶液插层
会议论文 基于嵌入式Linux的实时光学膜厚监控系统的研究
出处:中国真空学会2006年学术会议
摘要:<正>光学薄膜厚度的准确控制是保证制备出高精度光学薄膜的关键技术。目前,光学薄膜生产过程主要依靠人眼观... 显示全部
会议论文 EAST锂相关物理实验研究进展
出处:中国真空学会2014学术年会
摘要:托卡马克中等离子体与第一壁相互作用会造成器壁材料受损和等离子体品质变差。改善这种相互作用主要通过控... 显示全部
关键词: 等离子体与壁相互作用 表面改性
会议论文 原子层沉积技术及其应用
出处:TFC’05全国薄膜技术学术研讨会
摘要:<正> 随着纳米科技的发展,以及半导体集成电路对器件小型化的要求,迫切需要具有高精度、纳米级厚度等性能的... 显示全部
关键词: 原子层沉积 化学气相沉积 物理气相沉积
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