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会议论文 脉冲偏压电弧离子镀室温沉积非晶TiO2薄膜
出处:2006北京国际材料周暨中国材料研讨会
摘要:合理匹配频率和占空比,有效抑制由电荷累积导致的微弧放电,采用脉冲偏压电弧离子镀技术在载玻片上成功制备... 显示全部
关键词: 非晶 薄膜 脉冲负偏压 电弧离子镀 室温沉积 光学性能
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