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会议论文 非晶硅/微晶硅过渡区材料的PECVD法制备与特性研究
出处:第十届中国太阳能光伏会议
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积技术制备了非晶硅,微晶硅过渡区材料,并对材料特性进行了研究。实验结果... 显示全部
关键词: 非晶硅 微晶硅 过渡区 等离子体增强 化学气相沉积 薄膜材料
会议论文 弱硼掺杂补偿对氢化微晶硅薄膜制备与特性的影响
出处:第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛
摘要:本文对甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备氢化微晶硅薄膜(μc-Si:H)的弱硼掺杂补偿特... 显示全部
关键词: 氢化微晶硅薄膜 等离子体增强 化学气相沉积 掺杂补偿 薄膜制备
会议论文 掺杂浓度对p型μc-Si∶H材料特性的影响
出处:第十届中国太阳能光伏会议
摘要:采用射频等离子体增强化学气相沉积技术,制备了不同硼掺杂浓度的p型μc-Si∶H材料。实验结果表明:随着硼掺... 显示全部
关键词: 等离子体增强 化学气相沉积 掺杂浓度 薄膜制备
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