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会议论文 热处理工艺对合金薄膜电阻及其稳定性的影响
出处:中国电子学会第八届青年学术年会暨中国电子学会青年工作委员会成立十周年学术研讨会
摘要:利用离子束溅射镀膜技术制备了一种新型的压力传感器用合金薄膜,对合金薄膜电阻进行了热处理.分析了热处理... 显示全部
关键词: 压力传感器 离子束溅射镀膜 合金薄膜 热处理工艺 电阻稳定性
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