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会议论文 微机电系统及其应用
出处:2005年十三省区市机械工程学会学术年会
摘要:微机电系统(Micro Electro Mechanical Sys-terns.简称MEM,是通过微制造技术将机械单元、传感器、执行器件... 显示全部
关键词: 微机电系统 传感器 技术 微制造技术 光学器件 微能源
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